半導体用語集
表面波プラズマ
英語表記：surface wave plasma
プラズマの表面に誘起される表面波によって主にプラズマが生成されているようなプラズマ。典型的には、ガラス管に沿って生成される長尺のプラズマ。最近は、大面積プラズマの生成に表面波プラズマを適用しようという試みもある。また、誘電体線路を伝播する表面波の漏れ電場により生成されるプラズマを表面液プラズマと呼ぶことがある。
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