半導体用語集
芳香族エーテル
英語表記：aromatic ethers
ポリアリルエーテル（PAE:Poly（Arylene Ether））やフッ素添加を行ったポリフロロアリエーテル（PFAE：Poly（Fluoroarylene Ether））がある（図-1）。PFAEを例に取ると、ビナフトール（binaphthol）とパーフロロビフェニール（perfluorobiphenyl）から合成される。PAE の比誘電率は2.8から3.0、PFAEの場合は、それよりいくぶん低く2.6から2.8程度となる。有機高分子膜の中では、比誘電率はあまり低くはない。しかし、顕著な吸湿性は示さず、比較的高い耐熱性を示す。ガラス転移点は分子量依存性を示し、分子量の増大とともに高温側へシフトする。一般には、300℃から450℃であり、比較的高いガラス転移点を示す場合もある。シリコン酸化膜および金属との密着性も比較的高い。FLARE（商品名）、もしくはALCAP（商品名）とも呼ばれる。
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