半導体用語集
キャリアガス
英語表記：carner gas
一般には、半導体製造装置などにおいて、材料ガスの濃度調整や材料物の輸送の目的に使用するH2、Ar、N2などのガスのこと。 装置内の化学反応そのものには、直接関与しないガスが通常選ばれる。W-CVDの場合には、Ar、N2がキャリアガスとしてよく使用される。
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