半導体用語集
開管法
英語表記：open-tube method
両端が開いた炉心管を用いる不純物拡散方法のこと。基板試科の上流に拡散源を置き、不純物原子は気化(または、昇華)した状態でキャリアガスとともに基板試料へ送られる。拡散源としては、気体、液体、固体のいずれもが使用可能である。リン(P)については、固体では五酸化リン(P₂O₅)、液体ではオキシ塩化リン(POCⅼ₃)、気体ではホスフィン(PH₃)などが主な拡散源である。また、ホウ素(ボロン)(B)については、固体では酸化ホウ素(B₂O₃)、液体では三臭化ホウ素
(BBr₃)、気体ではジボラン(B₂H₆) などが用いられる。固体の場合には、適切な蒸気圧を持つよう拡散管とは別の領域で加熱させ、 液体の場合には、窒素などの不活性ガスでバブルさせ流す。 気体の場合にはそのままの状態で拡散源となる。
関連製品
「開管法」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「開管法」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
