半導体用語集
開管法
英語表記：open-tube method
両端が開いた炉心管を用いる不純物拡散方法のこと。基板試科の上流に拡散源を置き、不純物原子は気化(または、昇華)した状態でキャリアガスとともに基板試料へ送られる。拡散源としては、気体、液体、固体のいずれもが使用可能である。リン(P)については、固体では五酸化リン(P205)、液体ではオキシ塩化リン(POC13)、気体ではホスフィン(PH3)などが主な拡散源である。また、ホウ素(ポロン)(B)については、固体では酸化ホウ素(B203)、液体では三臭化ホウ素
(BBr3)、気体ではジボラン(B2H6) などが用いられる。固体の場合には、適切な蒸気圧を持つよう拡散管とは別の領域で加熱させ、 液体の場合には、窒素などの不活性ガスでバブルさせ流す。 気体の場合にはそのままの状態で拡散源となる。
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