半導体用語集
マグネトロン スパッタリング装置
英語表記：magnetron sputtering system
電界に交差する磁界の印加により陰極から出た電子にトロコイド運動を行わせて、ターゲット上に高密度のプラズマを作り、比較的低電圧でスパッタ速度を高めることができるスパッタリング装置。ペニングマグネトロンの応用からマグネトロンと呼ばれ、同じ原理の装置は直交電磁界型スパッタリング装置と称される。
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