半導体用語集
マスク製作
英語表記：
マスクのパターン製作は、ウエハのパターニングとほぼ同じような原理だが、光ではなく電子ビームが用いられる場合が多い。（レーザー光の場合もある）電子ビームが照射された部分のフォトレジストが現像で除かれると、フォトレジストをマスクにして、エッチングが行われる。エッチングは、溶液（硝酸セリウムアンモニウム）によるウェット・エッチングであるが、最近はドライ・エッチングも実用化されている。
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