半導体用語集
縦型ステッパ
英語表記：vertical stepper
シ ン ク ロ ト ロ ン放射光 (SR: Synchrotron RadiationまたはSOR: Synchrotron Orbital Radiation) を光源に利用できるように縦型にした X線リソグラフィ用のステッパ。 一台10億円以上もするシンクロトロン放射光源を使用したX線リソグラフィをLSIの量産現場に導入することを考えた場合、設備全体に対する光源の占める割合を下げるために一台の放射光リングに10台以上のステッパを接続することが考えられている。この時放射光は水平方向に放出されるため、ウェハがこれと垂直になるように露光装置(ステッパ)を縦型にする必要がある。縦型ステッパと従来の水平型ステッパでは目的と使用されるメカニズムに大きな差はないが、縦型ステッパはウェハテーブルなどの移動平面が重力と平行な面となるので、重力の影響が動く方向により異なることになり、水平型にくらべて製造が難しくなる。特に、剛性の高い移動機構(送りネジなど)を選択しないと横方向の移動の直進性が確保できない問題が起きる。また、重力のバランス機構(カウンタバランス)を設けないと上下方向の移動に速度むらが生じる。一方、X線マスクは重力面に平行になるため、重力による撓み(面外歪)が小さくなる利点がある。
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