半導体用語集
ディフェクト
英語表記：defect
半導体デバイスの品質・性能に影響を与える表面・外観上の欠陥をいう。CMP後の表面には異物、キズ、ピットなどが検出されることがあり、これらをディフェクトと呼んでいる。異物はスラリー残さが多く、キズはCMP中の各種のスクラッチが多く、ピットは膜中に存在した異物の脱落により発生した0.1μm程度の窪みである。
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