半導体用語集
アンダカット サイドエッチング
英語表記：undercut side etching
エッチングマスク材料の端部より側面方向に、被エッチング材量のエッチングが進行し、被エッチング材料のパターン幅が、エッチングマスク幅より減少した状態。溶液のエッチングや、ラジカルが主体のプラズマエッチングで顕著にみられる。微細パターンの形成には、アンダカットを少なくすることが重要な技術となる。
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