半導体用語集
アクティブダンパ
英語表記：active amper
半導体露光装置において、床振動などの外乱を遮断するための除震装置で、特に振動を制御するための除震装置で、特に振動を制御するためのアクチュエータ、センサ及びその制御システムを有する除振装置。
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