半導体用語集
限外ろ過
英語表記：ultrafiltration
限外ろ過膜を用いて水をろ過する処理方法を言う。限外ろ過膜は、超純水製造において、最終段のフィルターとして用いられる。微粒子をやバクテリアの除去を目的とする。精密ろ過膜（membrane filter）のような細孔はなく、緻密なスキン層と支持層から成っている。イオンや分子量が数100以下の溶解成分は除去できない。素材は主にポリスルホンが使用される。膜の形状からモジュールは、平膜型、スパイラル型、チューブラ型及び中空糸型に分類される。更に、中空糸型モジュールは、水のろ過方式により内圧型と外圧型に分類される。微粒子の除去性能は、外圧型が優れている。用途は主に超純水のような高純度の水の精製に使用されるが、最近では廃水処理においても、精密ろ過膜の代わりに用いるケースが増えている。例えば、CMP廃液中のスラリーの分離回収が試みられている。
関連製品
「限外ろ過」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「限外ろ過」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
