半導体用語集

ブレークスルー

英語表記：break through

被エッチング膜の表面に形成された自然酸化膜の除去及び被エッチングの表面荒れ等を除去するためのエッチング処理。主としてRF Biasの出力を増加させた処理ステップをエッチング条件に追加する。


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