半導体用語集
サブサイト
英語表記：subsite
スキャニングステッパにて瞬時に露光される分割域（site）中の長方形の領域。Lss（サイトの幅：可変）×Wss（スキャン方向の幅：8mm）にて決められるウェーハ表面の長方形の領域とその中心がサイト内にあり、領域の一部が分割域（Site）の外に出ている領域（Partial SubSite）、
FQAの内側及び境界線上ににある特殊な形も含む。
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