半導体用語集
熱CVD装置
英語表記：thermal CVD system
CVD反応の励起エネルギーとして、熱を用いる装置の総称。熱の発生源として、抵抗加熱方式と赤外線ランプ加熱方式がある。反応室内のガス圧力により、常圧CVD装置と減圧CVD装置に分類される。
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