半導体用語集
ソフトランディング
英語表記：soft landing
横型の熱酸化装置、熱拡散装置及び熱CVD装置でプロセスチューブにウエーハポートを搬入、搬出する際、チューブ内管に接触させることなく行い、パーティクルの発生を抑えることのできる機能を有する搬送装置。
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