半導体用語集
リチウム（Li）
英語表記：lithium
リチウムは、結晶中でドナーの働きをする。また、低温で拡散係数と固溶度が、比較的大きい性質を持っている。この特徴より、二つの特殊用途がある。一つは、放射線の検出器で、100kΩ・cm程度の超高抵抗率結晶が要求されるが、高純度FZ結晶を育成しても、1ｋΩ・cm程度（p型）が限界であり、不純物のアクセプタのBを補償して、中性化する必要がある。この補償のドナーとして、低温での拡散係数および固溶度が大きいことから、リチウムを500℃以下でドリフト拡散させ、均一の超高抵抗率結晶をえる。もう一つの用途は、X線トポグラフ法での歪みの少ない微小欠陥の観察法である銅デコレーション法の代わりに、リチウムをデコレートする。銅デコレーションでは、1,000℃近くの熱処理が必要で、結晶欠陥自身が変化するおそれがあるが、より低温でのリチウムでのデコレートにより欠陥の変質を防ぐことができる。
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