半導体用語集
テストステーション
英語表記：test station
ICテストシステムでデバイス測定を行うとき被測定デバイスを装着する部分。一般にテストヘッド部とマニピュレータで構成されている。ネットワークを構成する個々のICテストシステムを指す場合もある。
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