半導体用語集
洗浄装置
英語表記：cleaning equipment
表面にある粒子、有機物、金属表面不純物などの汚れを液体または気体の洗浄剤の化学作用に各種物理エネルギーを合せ用いて除去する装置。処理枚数により、バッチ式と枚葉式に大きく分類される。
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