半導体用語集
律速過程
英語表記：rate-determining process
故障が発生する過程はいくつかの要素過程に分けられる。それらの各要素過程のうちでも全体の進行速度に最も影響を及ぼす過程で，全体の進行速度をほとんど決めているような過程を律速過程または律速段階という。
律速過程は必ずしも進行速度が最も遅い過程とは限らない。全体の進行過程の中での各要素過程の組み合わせ方により，どの過程が律速過程になるかが決まる。
最も簡単な二つの場合を例にあげて考える。図1(a)に各構成要素過程が直列的な場合，図1(b)に構成要素過程が並列的な場合の例を示す。直列的な場合とは，直前の過程が終了しないと次の過程が始まらないというように，すぺての過程が順番に進行する場合である。このような過程では最も遅い過程が律速過程となる。図1(a)に示した例は酸化の過程であるが，実際の酸化が始まる前に，吸着，拡散，イオン化という過程を経る必要がある。このような場合の全体の反応速度Kの逆数は，個々の反応速度Kiの逆数に構成過程の反応量に関する定数Ciを掛けた値の和になる。図1(b)に示した並列的な場合とは，すべての過程が同時に進行する場合で，最も速い過程が律速過程となる。図に示した例では，樹脂を通しての拡散による水の浸入と，樹脂とリードの隙間を通しての水の浸入が同時進行する。このような場合の全体の反応速度Kは，個々の反応速度Kiの和になる。
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