半導体用語集
膜厚制御
英語表記：thickness control
成膜プロセス中に膜厚及び蒸着速度を膜厚計（水晶発振式、原子吸光式、工学式など）によって
モニタし、蒸着速度を一定に保ったり、所定の膜厚となるように制御すること。
関連製品
「膜厚制御」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「膜厚制御」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
