半導体用語集
ウェーハレベルバーンイン装置 WLBI装置 ウェーハバーンイン装置
英語表記:wafer level burn-in system wafer burn-in system
ウェーハ状態でバーンインを行う装置。DCテストの他、BISTを持つDUTでは、それを利用したファンクションテストを行う機能を持つ場合が有る。1枚のウェーハを同時に試験する一括方式と、部分的に試験する分割方式が有る。
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