半導体用語集
シリコン基板
英語表記：silicon substrate
LSI回路を作り込むためにSiの単結晶を薄くスライスしたウェハ。実装用の基板としても用いられる。実装用シリコン基板は，LSIの製造プロセスと同様なプロセスによりシリコン（Si）ウェハ上に配線を形成したものである。LSIの高集積化による多ピン・狭ピッチ化に対応した微細配線形成と薄膜多層配線が可能である。また，LSIチップと同材であることから熱膨張係数が整合し高信頼性であることから急速に開発が進んでいる。特にLSIの高性能化・高速化に伴い，チップ間の信号遅延などの性能を損なわないようにベアチップを高密度に実装したMCM（Multi Chip Module）などのべース基板に用いられている。
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