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- エッチングガス
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- 接着剤 接着テープ
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- セラミックパッケージ
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- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
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- マスク基板
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- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料（有機膜、金属化合物薄膜
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フレキシブルエレクトロニクスに向けた単結晶シリコン基板のMEMS 微細加?によるフレキシブル化
?阪技術研、?根 秀勝
MEMS
フレキシブルデバイス
基本情報
近年ウェアラブル端末や生体センシング技術の発展により、フレキシブルデバイスが注目されている。一般的なポリマー基板は耐久性や電気・熱特性に課題があり、一方で単結晶シリコンは高性能だが硬く脆いため、フレキシブル化が困難だった。本研究では、MEMS技術を用いてシリコン基板に微細なメッシュ構造を加工し、柔軟性を付与することを目指した。解析と試作の結果、曲げ変形にはつづら折りばね構造、伸縮には螺旋ばね構造が有用であることが判明し、半導体集積化デバイスへの応用可能性を示した。
取扱企業
グローバルネット株式会社
業種：産業用電気機器 所在地：東京都 中央区湊 1-2-10 堀川ビル6F
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グローバルネット株式会社（GNC）は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2025年には創業35年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。
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