半導体用語集
エピタキシャル成長装置
英語表記：epitaxial growth system
ウエーハの結晶性を受け継いで単結晶層を成長させる装置。成長雰囲気により、分子線エピタキシャル成長装置、気相エピタキシャル成長装置、液相エピタキシャル成長装置に大別される。材料面から見た場合、ウエーハと成長層の材料が同じ場合（ホモエピタキシ）とウェーハと成長層の材料が異なる場合（ヘテロエピタキシ）に分類することができる。
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