半導体用語集
反応室 成長室 リアクタ
英語表記：reaction chamber deposition chamber reactor
CVD装置、エピタキシャル成長装置における薄膜形成を行うための部分。ウェーハ、ウェーハホルダ、サセプタ等を収納する、特に高純度石英で作られた管状のものは反応管と呼ばれる。
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