半導体用語集

スリーウェイ方式

英語表記:three-way

上定盤を固定し下定盤を回転させ、上下定盤にはさまれ遊星ギア(キャリヤ)が定盤の中心の太陽ギアと周囲に位置するインターナルギアにかみ合って自転しながら公転するので、キャリヤ内の加工物には3方向の運動が与えられる方式。


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