半導体用語集
スリーウェイ方式
英語表記：three-way
上定盤を固定し下定盤を回転させ、上下定盤にはさまれ遊星ギア（キャリヤ）が定盤の中心の太陽ギアと周囲に位置するインターナルギアにかみ合って自転しながら公転するので、キャリヤ内の加工物には3方向の運動が与えられる方式。
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