半導体用語集
高速ナロービード溶接
英語表記：high speed one pass welding
溶接時に発生する金属ヒュームを低減するための、ガス供給管系の溶接方法。特に、腐食性ガス供給配管からのプロセスに対する金属汚染の防止、および配管自体の耐腐食性能の向上が図れる。自動溶接機を用い、通常の溶接スピードの約8倍程度の高速で行う。
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