半導体用語集
清浄度回復能
英語表記：cleanliness recovery characteristic clean down capability
クリーンルーム内に考え得る最大量の汚染物が入り込んだり発生したとき、清浄度が規定の清浄度レベルに戻るまでに要する時間。
関連製品
「清浄度回復能」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「清浄度回復能」に関連する用語が存在しません。
「清浄度回復能」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
