半導体用語集
キナルジン酸
英語表記：quinaldic acid
分子式C10H7NO2（2-quinolinecarboxylic acid）、分子量173.17の白色結晶で、水、エタノール、アルカリ溶液に可溶な有機酸。N、O－配位、ー1価の2座配位子として働き、多種類の金属イオンと水に難溶性のキレート錯体をつくる。金属の分離、定量に用いられる。Cu、Zn、Cd、Uの沈殿試薬である。Cu水和物と反応して難溶性の金属錯体を形成する性質をもちいてCu－CMPに用いる場合がある。Cuをウェットエッチングしないのでディッシングが少なくなることが特徴である。
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