半導体用語集
アニール温度
英語表記：annealing temperature
試料を加熱処理するとき、その物質の構造や物性を安定化させることのできる処理温度。ウェーハプロセスでは非晶質層の単結晶化、シンタリング、界面の特性向上、歪み除去などを行うための熱処理温度をさす。
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