半導体用語集
プラテン
英語表記：platen
研磨布を貼付する定盤のこと。材料には、ステンレスや熱変形の小さいアルミナセラミクス、低熱膨張鋳鉄などが用いられる。プラテンの振動や熱変形、偏荷重による変形などは、加工性能を悪化させる場合がある。この振動や偏荷重による変形を抑えるためには、空気軸受や大きな軸受を採用するのが効果的である。また、温度分布による変形を抑えるためには、水冷による温度制御をすることもある。プラテンの回転機構は、回転軸がプラテン中心を通る回転運動が主流だが、他に回転軸がプラテン中心からずれている偏心小円運動を行う装置もある。プラテンに貼付してある研磨布の交換時には、研磨屑などによる装置内の汚染の可能性があるため、CMPの装置外で交換作業を行うように、取り外し可能な2層構成にしたものもある。
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