半導体用語集
スローベント ソフトベント
英語表記：slow vent soft vent
真空装置の真空槽を大気圧にもどす工程において、コンダクタンスを絞ることにより、小さな導入速度でゆるやかに槽内を排気すること。パーティクルの舞い上がり防止を目的とする。
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