半導体用語集
インプリント特性
英語表記：imprint characteristics
強誘電体薄膜をある方向に分極反転させ長時間保持したり、同一方向の電圧パルスを連続して印加すると分極が逆方向に反転しにくくなる。この現象をインプリント(癖つけ)と呼ぶ。このような現象が起こると強誘電体メモリのデータ保持特性が劣化する。特に、保持したデータと逆方向に書き込んで読み出すOSリテンションの特性が著しく劣化してしまう。インプリント現象の原因は完全に特定できていないが、強誘電体の電極近傍で、相互拡散や反応によって強誘電体構成元素が欠乏したり格子の乱れが生じた結果、その欠陥部に電荷が注入して分極の歪を起こすためだといわれている。この現象は温度加速が可能であり、150℃程度の温度で保持や電圧印加を行って評価を行う。対策として、明確に防げる手段は報告されていないが、相互拡散を抑えたり低温成膜化を行い強誘電体/電極界面状態を改善するとインプリント特性も改善される。
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