半導体用語集

圧力検出器

英語表記:pressure sensor

ダイヤフラムにより被測定圧力をひずみ量に変換し、ひずみ量を半導体ひずみゲージにより検出し、所定の出力信号に増幅して出力する装置。ブルドン管で受け、ブルドン管の変位を検出する方法も行われている。


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