半導体用語集
ウェーハホイスト
英語表記：wafer hoist
ウェーハ搬送機構におけるウェーハ受け渡し機構。搬送機構の先端に付属するウェーハアームと対で使用されることが多く、受渡しのプロセス位置においてウェーハ受けとそれを駆動する上下機構からなる。
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