半導体用語集
直接置換式洗浄装置
英語表記：direct displacement type cleaning equipment
複数の洗浄液でウェーハ洗浄するのに単一の槽にA液、純水、B液、純水････と順次前液を後液で完全にちかんするように供給して、ウェーハ表面を空気にふれさせずに一連の洗浄処理を行うようにした洗浄装置。通常の洗浄装置と違って洗浄槽が1個ですむため床面積をとらない利点がある。
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