半導体用語集
ウェーハ形状認識
英語表記：wafer profile recognition
ウェーハの外周形状を画像処理装置により認識する機能。破断したウェーハを加工する場合、自動位置決め及び破断形状に合わせた切削ストロークの自動調節に使用する。
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