半導体用語集
廃水処理・回収装置
英語表記:waste water treatment and reclamation system
工場のユースポイント(使用箇所)から排出される排水を、その目的に応じて処理・回収するための装置。排水を工場外に放流するための廃水処理装置、排水を回収し再利用するための排水回収装置および排水中に含まれる物質を有価物として回収するための回収装置などで構成される。
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