半導体用語集
種子結晶
英語表記：seed crystal
ある結晶方位を有する大きな単結晶を成長させるときに種子として用いる単結晶。種子結晶は良質の結晶を用いて、結晶方位も正確に定めて加工し、機械的なきずや歪のない十分化学エッチングした清浄な表面にして用いる。
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