半導体用語集
へテロダイン検出
英語表記：heterodyne alignment
露光装置において前工程の焼きつけパターンの位置を計測するアライメントにおいて、波長が異なる2光束の干渉を用いるアライメント方式。ウェハ上のアライメントマークは特定の周期の繰り返しパターンで形成される。このアライメントマークに対して波長がわすかに異なるレーザ光を2方向から斜めに照明する。この時マークから生じる回折光が干渉を起こすが、波長の差に応じたピート(うなり)を発生する。このビート信号の位相はアライメントマークの位置に応じて変化するため、露光装置側の基準信号との位相差よりアライメントマークの位置を産出することができる。ただし、位相を検出するためアライメントマークの周期の1/4以内のすれ量しか検出できない。位相を用いる検出方法であるため、位置計測が回折光の強度の影響を受けない。 よって、プロセス変動の影響を受けにくく低段差アライメントマークにも有効である。
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