半導体用語集
渦電流終点検出法
英語表記：end point detection by eddy current
金属膜研磨のグローバル平坦化CMPにおいて、最適研磨量を得るための終点検出法の一つである。各種方法が提案されており、ウェーハ表面または研磨布表面において、研磨進行により被測定物の、誘電率変化に起因する渦電量変化を検出する。具体的には、ウェーハ表面の膜厚変動、研磨進行におけるスラリーの化学的変化により、誘電率変動が生じるので、この変動を捕らえ終点検出とする。
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