半導体用語集
ウェーハ
英語表記：wafer
一般には薄い板状のものの総称。半導体関係では、半導体素子の基板となるSiやGaAsなどの単結晶を薄い板状にしたものをSiウェーハ、GaAsウェーハなどという。Siウェーハは現在、200mm（8インチ）が主流であり、300mm（12インチ）ウェーハの使用も開始された。GaAsウェーハは4インチが主流であり、6インチウェーハの使用も開始された。
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