半導体用語集
ビームコントロール
英語表記:beam control
一次電子ビームの走査を回転及び偏向して、走査型電子顕微鏡像(SEM)の回転、移動コントロールさらに、電子光学系の対物レンズの励磁電流を制御し焦点合わせを行うこと。
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