半導体用語集
カセットレス洗浄装置
英語表記：cassetteless wet cleaning equipment
カセットから全ウェーハを一括チャッキングして取り出し、槽間を自動搬送する機構により、ウェーハのみをバッチ浸漬洗浄できるようにした装置。カセットを用いないことにより、槽寸法の縮小、装置全体の省スペース化、洗浄液使用量の低減、カセットからの逆汚染防止、液持ち出し量の低減、洗浄効率やリンス効率の向上等多くの利点が生じる。
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