半導体用語集
昇降温プロファイル
英語表記：temperature up and down profile
ウェーハなどを熱処理するときの昇降温度と処理時刻との関係を示すパターン。熱処理の再現性向上、ウェーハのそり、歪みの発生防止のために昇降温パターンのプログラム制御を行う場合がある。
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