半導体用語集
PFCガス
英語表記：PFC (perfluoro-compound）gas
主に炭素とフッ素が結合した化合物の総称。ドライエッチングで使用される主なPFCガスはCF4
C2、F6、CHF3、SF6、NF3等があり、大気中での寿命が長く、地球温暖化係数が大きいために地球温暖化の原因の一つとして国際的に削減が合意されている。ドライエッチングにおける主たるPFC排出量削減方法はCVDの場合と同様に代替ガスと除害であるが、ドライエッチングでは、PFCガスはプロセスガスとして用いられるためCVDに較べより厳しい性能が要求され、代替ガスの実用化にはまだ時間を要すると考えられる。このためプロセスの最適化による使用量削減と各種方式による除害方式の検討が進められている。
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