半導体用語集
電解研磨 EP管
英語表記：electro polishing
半導体製造用ガスの供給系に用いられるステンレス製ガス部品の接ガス面に施される研磨。電解液中で被研磨面に電位をかけることによって加工変質層のない鏡面研磨が可能となる。表面粗度はRmax＝1μm以下であり、微粒子の発生が抑制できる。通常はEP管と呼ばれる。
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