半導体用語集
パーティクルカウンタ ダストカウンタ 光散乱パーティクルカウンタ
英語表記：particle counter dust counter light scattering particle counter
空気中の浮遊微粒子の大きさと個数を連続的に計測する機器。微粒子を含む空気流にレーザ光または白色光を照射して微粒子からの散乱光を検出して電気信号に変えて表示する。
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