半導体用語集
イオン電流密度
英語表記：ion current density
プラズマ中の解離度を表す指標として用いられる。主としてイオン電流密度の測定にはプローブを用い、電圧を印加してプローブを用い、電圧を印加してプローブに流れ込むイオン量を電流値に換算して算出する。
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