半導体用語集
ドライエッチング
英語表記:Dry Etching
薄膜やSi基板表面をウエットエッチング(薬液)の代わりに、エッチングガスを用いて、加工処理する方法をドライエッチングという。エッチングガスにRF電圧を印加し、プラズマを作る。そのプラズマ活性種の化学反応や物理反応を有効に活用して、マスクパターンに忠実なエッチングパターンを形成する。
*ドライエッチングのモード
1.化学的エッチング(ラジカル)
2.物理的エッチング(イオン)
3.反応性イオンエッチング(イオン+ラジカル)
*ドライエッチングの特徴(対ウエットエッチ)
1.加工精度が良好
2.自動化し易い
3.エンドポイント検出精度が高い
4.クリーン化が可能
5.高コスト(装置が高価)
6.エッチングダメージが発生し易い
7.選択比が小さい(材料間エッチ速度比)
関連製品
エピタキシャル成長したSi0.7Ge0.3およびSi 薄膜におけるH2希釈CF4ガスによるドライエッチング ? 基板温度依存性?
グローバルネット株式会社
名大院工、尾崎 孝太朗
自治体・省庁・研究機関・団体 › 応用物理学会

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